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真空式等離子處理系統(tǒng)6L

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名稱 真空式等離子處理系統(tǒng)

型號 CRF-VPO-MC-6L

控制系統(tǒng) PLC+觸摸屏

電源 380V/AC,50/60Hz,12.5kw

中頻電源功率 2000W/40kHz

容量 235L(Option)

層數(shù) 6(Option)

有效處理面積 500(L)*500(W)(Option)

氣體通道 兩路工作氣體可選: Ar、N2、CF4、O2


產(chǎn)品特點

超大處理空間,提升處理產(chǎn)能,采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng),精確的控制設(shè)備運行。

可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù),滿足客戶的需求。

保養(yǎng)維修成本低,便于客戶成本控制。

高精度,快響應(yīng),良好的操控性和兼容性完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。


應(yīng)用范圍

主要應(yīng)用于生物醫(yī)療行業(yè),印制線路板行業(yè),半導(dǎo)體IC領(lǐng)域,硅膠,塑膠,聚合體領(lǐng)域,汽車電子行業(yè),航空工業(yè)等。


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